ICP-MS katı ve sıvı numunelerde çok sayıda elementin aynı anda, hızlı, ucuz, hassas ve yüksek dogrulukta, niteliksel, niceliksel ya da yarı niceliksel olarak analiz edilmesine olanak saglayan ileri teknoloji bir analiz teknigidir. ICP-MS ile periyodik cetveldeki 70 dolayındaki elementin analizi yapılabilmektedir. Çogu element için dedeksiyon limiti mikrogram/kilogramdan (ppb) daha düsüktür. Bu özelliginden dolayı özellikle iz elementler için çok uygun bir yöntemdir. Bu teknik; elektromanyetik indüksiyonla 10,000°K sıcaklıga ulastırılan argon plazması tarafından örnegin iyonize edilmesi, iyonize edilen elementlerin kütle spektrometresi tarafından ayrıstırılması ve element derisimlerinin elektron çoklayıcı bir dedektör tarafından ölçülmesi asamalarından olusmaktadır. ICP-MS teknigi ile toprak, kayaç, su, atık su, gıda, kan, idrar ve biyolojik numunelerin iz element analizleri yapılabilmektedir. ICP-MS’in yogun olarak kullanıldıgı alanlar; biyoloji, kimya, çevre, jeoloji, gıda, malzeme bilimleri, dis hekimligi, tıp ve eczacılık’tır.